5英寸旋轉CVD管式爐

爐體結構

• 採用雙層殼體結構☁│，並帶有風冷系統
• 採用高純氧化鋁作為爐膛材料☁│，可以zui大程度減小能量損失
• 直流電機帶動石英管轉動☁│，其轉速為0 - 10 RPM
• 爐體可傾斜角度為30°
• 爐體設計為開啟式☁│，以便於操作和對樣品進行快速冷卻

加熱區

• 三個溫區總長度✘✘☁•✘：600mm
• 溫區 1: 150 mm  ( 6")
• 溫區 2: 300mm  ( 12")
• 溫區3: 150 mm ( 6")
• 恆溫區為✘✘☁•✘：450mm@+/-2℃（三個溫區設定同樣的溫度）

• 儀器中包含一根石英管
• 尺寸✘✘☁•✘：130 mm O.D. x 120 mm I.D. x 1200 mm L + 60 O.D mm （兩端直徑 )
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• 儀器中包含一套不鏽鋼真空法蘭（上面已經安裝了不鏽鋼針閥）

接頭

• 進氣端介面✘✘☁•✘：Φ6.35的卡套介面
• 出氣端接頭✘✘☁•✘：Φ12的寶塔嘴接頭

工作溫度

• 連續使用溫度✘✘☁•✘：1100℃
• zui高工作溫度✘✘☁•✘：1200℃< 1 h

溫控系統

• 三個溫區採用三個溫控系統獨立控制☁│，都是採用PID方式調節☁│，可以設定30段升降溫程式
• 爐體上安裝有RS485介面☁│，可選購控溫模組☁│，採用電腦控制爐體升溫

熱電偶

• 三根 Omega K 型鎧裝熱電偶
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真空泵和冷井

• 配有一雙極旋片真空泵☁│，上面安裝有油霧過濾器
• 可以選購冷井☁│，防止實驗中的沉積物損害真空泵
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供氣系統

• 4通道精密氣體控制系統☁│，採用質量流量計☁│，觸控式螢幕控制☁│，可同時通入1-4種不同氣體
• 注意✘✘☁•✘：如果通入的是易燃易爆型氣體☁│，必須將裝置安裝在通風櫃中
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zui大功率

4KW

電壓

208 - 240V單相(需要30 A 的空氣開關）

質保

一年質保期☁│，終生維護（不含爐管☁│，密封圈和加熱元件）

質量認證

• CE認證
• 所有電器元件（>24V）都透過UL / MET / CSA認證
• 若客戶出認證費用☁│，本公司保證單臺裝置透過德國TUV認證或CAS認證
•      

淨重

130kg

應用注意事項

• 此套裝置可以配合本公司連續送料裝置來達到連續進料的效果
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警告

• 爐管內氣壓不可高於0.02MPa
• 由於氣瓶內部氣壓較高☁│，所以向爐管內通入氣體時☁│，氣瓶上必須安裝減壓閥☁│，建議在本公司選購減壓閥☁│，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
• 當爐體溫度高於1000℃時☁│，爐管內不可處於真空狀態☁│，爐管內的氣壓需和大氣壓相當☁│，保持在常壓狀態
• 進入爐管的氣體流量需小於200SCCM☁│，以避免冷的大氣流對加熱石英管的衝擊
• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
• 對於樣品加熱的實驗☁│，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用•↟。若需要關閉氣閥對樣品加熱☁│，則需時刻關注壓力錶的示數☁│，若氣壓表示數大於0.02MPa☁│，必須立刻開啟洩氣閥☁│，以防意外發生（如爐 管破裂☁│，法蘭飛出等）