簡要描述☁│↟↟·:PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機↟₪▩☁╃,其加熱溫度可達150℃•│╃╃。此款裝置可用於清洗各種基片↟₪▩☁╃,為製作高質量的薄膜打好基礎•│╃╃。特別適合移除光刻膠↟₪▩☁╃,改善表面潤溼性↟₪▩☁╃,清洗SEM &TEM↟₪▩☁╃,紫外對聚合物改性等•│╃╃。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸☁₪✘、乾燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段↟₪▩☁╃,特別適合清除一些有機化合物•│╃╃。紫外燈主要發出兩種波長的光☁│↟↟·:185nm和254nm•│╃╃。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧
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PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機↟₪▩☁╃,其加熱溫度可達150℃•│╃╃。此款裝置可用於清洗各種基片↟₪▩☁╃,為製作高質量的薄膜打好基礎•│╃╃。特別適合移除光刻膠↟₪▩☁╃,改善表面潤溼性↟₪▩☁╃,清洗SEM &TEM↟₪▩☁╃,紫外對聚合物改性等•│╃╃。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸☁₪✘、乾燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段↟₪▩☁╃,特別適合清除一些有機化合物•│╃╃。紫外燈主要發出兩種波長的光☁│↟↟·:185nm和254nm•│╃╃。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧↟₪▩☁╃,254nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)•│╃╃。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物•│╃╃。
技術引數
電源 | AC 208~240V↟₪▩☁╃,單相 50/60Hz |
紫外燈 |
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腔體&樣品臺 |
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排氣口 |
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外形尺寸 | 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) |
淨重 | 28kg |
質保期 | 一年質保期↟₪▩☁╃,終生維護(不包含紫外燈) |
應用 |
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